半導(dǎo)體行業(yè)高度依賴超純水系統(tǒng)。超純水在晶圓清洗、濕法蝕刻、化學(xué)機(jī)械拋光等關(guān)鍵工藝中起關(guān)鍵作用，確保器件性能和制造精度。系統(tǒng)通過多級(jí)純化工藝達(dá)到高純度要求，具有穩(wěn)定性、可靠性、安全性和環(huán)保性。隨著半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展，超純水需求增長(zhǎng)，對(duì)系統(tǒng)純度和穩(wěn)定性提出更高挑戰(zhàn)。超純水系統(tǒng)為半導(dǎo)體制造提供高質(zhì)量水源，推動(dòng)行業(yè)進(jìn)步。

使用單位：某半導(dǎo)體企業(yè)西安工廠
安裝設(shè)備：艾柯實(shí)驗(yàn)室超純水系統(tǒng)
設(shè)備型號(hào)：AK-RO-UP-500
制水量：500L/H
安裝時(shí)間：2024年10月23日

客戶單位成立于2001年， 是一家專注技術(shù)創(chuàng)新的科技公司，在安防、智能物聯(lián)領(lǐng)域耕耘二十余年， 產(chǎn)品和解決方案應(yīng)用在150多個(gè)國(guó)家和地區(qū)，致力于將物聯(lián)感知、人工智能、大數(shù)據(jù)技術(shù)服務(wù)于千行百業(yè)，引領(lǐng)智能物聯(lián)新未來。

此次安裝的艾柯AK-RO-UP-500實(shí)驗(yàn)室超純水系統(tǒng)，具備每小時(shí)生產(chǎn)500升高品質(zhì)純水的能力，它集成了全自動(dòng)水處理技術(shù)的核心優(yōu)勢(shì)。從預(yù)處理到超純化，系統(tǒng)的每一步都實(shí)現(xiàn)了精確控制，以確保水質(zhì)達(dá)到最佳狀態(tài)。其高度自動(dòng)化的設(shè)計(jì)大幅減少了人工操作的需求，同時(shí)，高效的節(jié)水設(shè)計(jì)也顯著降低了運(yùn)行成本。系統(tǒng)內(nèi)置了智能監(jiān)控功能，能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)液位、壓力和水質(zhì)，從而確保系統(tǒng)的安全穩(wěn)定運(yùn)行。此外，該系統(tǒng)還支持根據(jù)實(shí)驗(yàn)室的具體需求進(jìn)行個(gè)性化定制，以滿足各種多樣化的用水需求。艾柯超純水系統(tǒng)憑借其智能化和高效能的顯著特點(diǎn)，為科研創(chuàng)新活動(dòng)提供了穩(wěn)定且可靠的純凈水資源。

在半導(dǎo)體制造行業(yè)中，超純水的重要性無可替代，其應(yīng)用范圍既廣泛又深入。在半導(dǎo)體生產(chǎn)的各個(gè)環(huán)節(jié)中，超純水扮演著至關(guān)重要的角色。作為清洗、蝕刻、摻雜等關(guān)鍵步驟的媒介，超純水確保了芯片制造過程的精確與高效。它能夠徹底清除可能影響半導(dǎo)體元件性能的任何雜質(zhì)，為制造出高質(zhì)量的半導(dǎo)體產(chǎn)品提供了堅(jiān)實(shí)的保障。

在半導(dǎo)體的研發(fā)與測(cè)試階段，超純水同樣至關(guān)重要。它被廣泛用于精密儀器的清洗與維護(hù)，以確保測(cè)量與測(cè)試的準(zhǔn)確性；同時(shí)，作為化學(xué)試劑配制、樣品稀釋與校準(zhǔn)的基礎(chǔ)，超純水保障了實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的可靠性與可重復(fù)性，為半導(dǎo)體技術(shù)的研發(fā)提供了有力的支持。

隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展，對(duì)超純水的需求也在持續(xù)增長(zhǎng)。為了應(yīng)對(duì)這一挑戰(zhàn)，企業(yè)不斷致力于提升超純水的制備技術(shù)，優(yōu)化生產(chǎn)工藝，以提高資源利用效率。同時(shí)，加強(qiáng)廢水處理與回收利用也成為了行業(yè)關(guān)注的重點(diǎn)，旨在實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體制造的可持續(xù)發(fā)展。

艾柯實(shí)驗(yàn)室超純水系統(tǒng)采用全自動(dòng)水處理系統(tǒng)設(shè)計(jì),系統(tǒng)以預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理等主要工藝組成,系統(tǒng)具有自動(dòng)化程度高,系統(tǒng)穩(wěn)定性高,水利用率高,大大節(jié)省人力成本和維護(hù)成本,運(yùn)行可靠。設(shè)備水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測(cè)控制儀表，具有更高的性價(jià)比和可靠性。系統(tǒng)制水量可根據(jù)客戶需求定制,滿足實(shí)驗(yàn)室純水/超純水的用水需求。

性能特點(diǎn)

全自動(dòng)前期預(yù)處理系統(tǒng)
全自動(dòng)多介質(zhì)過濾器，全自動(dòng)活性碳過濾器，全自動(dòng)軟化器、精密過濾器等構(gòu)成前期預(yù)處理系統(tǒng)，高效去除水中的大顆粒雜質(zhì)，對(duì)RO膜進(jìn)行保護(hù)。

RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)
配備保安過濾裝置對(duì)0.01um以上顆粒實(shí)現(xiàn)99.9%的攔截率對(duì)RO膜進(jìn)行保護(hù)，同時(shí)自動(dòng)反沖洗RO反滲透膜，延長(zhǎng)RO反滲透膜的使用時(shí)間。

全自動(dòng)系統(tǒng)檢測(cè)控制功能
水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測(cè)控制儀表，運(yùn)行更加的穩(wěn)定可靠。

在線水質(zhì)檢測(cè)功能
系統(tǒng)可同時(shí)檢測(cè)顯示純水/超純水電導(dǎo)率、溫度的水質(zhì)以及電阻率，可隨時(shí)了解水質(zhì)情況。