制造超純水的設(shè)備通常包括以下幾種：

1.反滲透設(shè)備：反滲透是制備超純水的常用工藝之一，反滲透設(shè)備通過半透膜對水進行過濾，去除大部分雜質(zhì)和離子，從而獲得較高純度的水。

2.電離子交換設(shè)備：電離子交換是另一種常用的水處理技術(shù)，電離子交換設(shè)備通過將原水通過樹脂床，用交換樹脂去除離子和雜質(zhì)。

3.超濾設(shè)備：超濾設(shè)備通過特殊的膜過濾技術(shù)，將水中的大分子有機物和顆粒物去除。

4.紫外線殺菌設(shè)備：紫外線殺菌設(shè)備利用紫外線對水中的微生物進行殺滅，從而消除水中的細菌和病毒。

以上這些設(shè)備可以單獨使用，也可以組合使用，以獲得更高的水質(zhì)和穩(wěn)定性。除此之外，超純水設(shè)備還需要考慮操作控制系統(tǒng)、材料的選擇、自動化程度等因素。如果需要制造超純水設(shè)備，建議尋找專業(yè)的生產(chǎn)廠家或工程師咨詢和合作。