超純水系統(tǒng)是一種專門用于生產(chǎn)高純度水（如工業(yè)純水、電子級(jí)水）的設(shè)備系統(tǒng)。它通常包括多個(gè)處理步驟和組件，旨在去除水中的雜質(zhì)、離子和溶解物質(zhì)，以產(chǎn)生極高純度的水。

以下是一個(gè)常見的超純水系統(tǒng)的基本組成部分：

預(yù)處理：超純水系統(tǒng)通常包括一些預(yù)處理步驟，如過濾、加藥、軟化等。這些步驟旨在去除水中的懸浮顆粒、泥沙、有機(jī)物和微生物等。

反滲透（RO）：反滲透是超純水系統(tǒng)中的關(guān)鍵步驟之一。在這個(gè)過程中，水通過一個(gè)半透膜，將水中的溶解物質(zhì)、離子和微生物等截留在膜的一側(cè)，而純凈的水則通過膜而被收集。反滲透能有效去除大部分溶解性雜質(zhì)和離子。

去離子（DI）：去離子是一種常用于超純水系統(tǒng)中的處理步驟。它使用離子交換樹脂或其他去離子設(shè)備，進(jìn)一步去除反滲透膜未能去除的殘余離子，以產(chǎn)生更高純度的水。

純化/精處理：在去離子之后，一些超純水系統(tǒng)可能還包括其他純化或精處理步驟，如電極去離子（EDI）、電解、超濾、紫外線滅菌等。這些步驟有助于進(jìn)一步凈化水質(zhì)，去除殘余的有機(jī)物、微生物和微量離子。

儲(chǔ)存和分配：超純水系統(tǒng)通常包括水貯存罐和管道系統(tǒng)，用于儲(chǔ)存和分配純凈水。儲(chǔ)存罐可保持水的純度，并確保按需供應(yīng)。

超純水系統(tǒng)的規(guī)模和配置根據(jù)具體的應(yīng)用需求而有所差異，可以是小型的實(shí)驗(yàn)室級(jí)系統(tǒng)，也可以是大型的工業(yè)級(jí)系統(tǒng)。這些系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子制造、制藥、化工、實(shí)驗(yàn)室研究和其他需要高純度水的領(lǐng)域。